cdms使用电容传感器实现非接触位移、位置、振动、角度、介电常数及各种形变、厚度、刚度等参数的高精度检测。基于理想平板电容原理设计研发的,被测物体与传感器各自作为一个平板电极。给传感器一个持续稳定的交流电,交流电压的振幅变化与电容到被测物体之间的距离成正比。交流电经过解调,可以输出为模拟量信号。
公司相关技术打破了国外垄断,技术水平达到国外同类产品的水平。为航空国防、工业制造、农业环保、能源石化、科研仪器等行业提供优质的监测系统及行业解决方案。
由于超精密加工的精度等级和表面质量都很高,因此,一定要有相应的检测手段,才能验证工件是否达到了相应的技术要求。在精密超精密加工和测量中,电容测微仪,对测量技术提出了更为严格的要求,即要求测量误差比加工误差高一个数量级。目前,河北电容测微仪,超精密测量仪正向高分辨力、高准确度和高可靠性的方向发展。公司发展了分辨率均可以达到1?nm的测量元件;美国hp、zygo、英国taylor等公司的测量仪器均可以满足纳米测量的需求。
精密离心机主轴回转误差直接影响精密离心机动态半径的测量、离心加速度输出精度以及精密离心机主轴运行安全性,必须精准测量主轴回转误差参数;介绍一种应用3个电容测微仪测试并分离主轴回转误差与圆度误差的方法,利用matlab对三只电容测微仪安装角度误差、主轴全周采样点数、测试系统本底噪声对主轴回转误差测试结果影响进行分析,得出采样点数n、测微仪安装角度误差δα、δβ以及测试系统本底噪声对回转误差分离的影响,广东电容测微仪,基于结果确定了10-6量级精密离心机主轴回转误差测量的几个工程参数。该方法已应用于某高精度精密离心机主轴回转误差精密测试中,实测表明,转速在300 rpm内精密离心机纯回转误差测量结果为0.25 μm,满足10-6量级高精度精密离心机的研制指标需求。
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