从加工方法的机理、特点和传统来分类，精密和超精密加工又可分为传统加工、非传统加工和复合加工。传统加工是指刀具切削加工、固结磨料和游离磨料的磨削加工；非传统加工是指利用电能、磁能、声能、光能、化学能和核能等对材料进行加工和处理；复合加工是采用多种加工方法的复合作用，进行优势互补，相辅相成。当前，在制造业中，占主要地位的仍是传统加工方法。 ?在加工精度的量级上，精密加工是指加工精度为1～0.1?μm，表面粗糙度为0.1～0.025μm的加工技术，超精密加工是指加工精度高于0.1?μm，浙江电容测微仪，表面粗糙度小于0.025?μm的加工技术。目前超精密加工已进入纳米级精度阶段，故出现了纳米加工及其相应的技术。

精密离心机主轴回转误差直接影响精密离心机动态半径的测量、离心加速度输出精度以及精密离心机主轴运行安全性，必须精准测量主轴回转误差参数；介绍一种应用3个电容测微仪测试并分离主轴回转误差与圆度误差的方法，电容测微仪，利用matlab对三只电容测微仪安装角度误差、主轴全周采样点数、测试系统本底噪声对主轴回转误差测试结果影响进行分析，黑龙江电容测微仪，得出采样点数n、测微仪安装角度误差δα、δβ以及测试系统本底噪声对回转误差分离的影响，甘肃电容测微仪，基于结果确定了10-6量级精密离心机主轴回转误差测量的几个工程参数。该方法已应用于某高精度精密离心机主轴回转误差精密测试中，实测表明，转速在300 rpm内精密离心机纯回转误差测量结果为0.25 μm，满足10-6量级高精度精密离心机的研制指标需求。

由于超精密加工的精度等级和表面质量都很高，因此，一定要有相应的检测手段，才能验证工件是否达到了相应的技术要求。在精密超精密加工和测量中，对测量技术提出了更为严格的要求，即要求测量误差比加工误差高一个数量级。目前，超精密测量仪正向高分辨力、高准确度和高可靠性的方向发展。公司发展了分辨率均可以达到1?nm的测量元件；美国hp、zygo、英国taylor等公司的测量仪器均可以满足纳米测量的需求。

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