精密和超精密加工技术简介

就制造技术的技术实质性而论，主要有精密和超精密加工技术与制造自动化两大领域。前者包括了精密加工、超精密加工、微细加工，以及广为流传的纳米加工，它追求加工上的精度和表面质量的极限，宁夏电容测微仪，可统称为精密工程；后者包括了设计、制造和管理的自动化，它不仅是快速响应市场需求、提高生产率、改善劳动条件的重要手段，而且是提高产品质量的有效方式。两者密切联系，许多精密和超精密加工要靠自动化技术才能达到预期目标，而不少制造自动化则有赖于精密加工才能达到设计要求。

精密离心机主轴回转误差直接影响精密离心机动态半径的测量、离心加速度输出精度以及精密离心机主轴运行安全性，必须精准测量主轴回转误差参数；介绍一种应用3个电容测微仪测试并分离主轴回转误差与圆度误差的方法，利用matlab对三只电容测微仪安装角度误差、主轴全周采样点数、测试系统本底噪声对主轴回转误差测试结果影响进行分析，得出采样点数n、测微仪安装角度误差δα、δβ以及测试系统本底噪声对回转误差分离的影响，基于结果确定了10-6量级精密离心机主轴回转误差测量的几个工程参数。该方法已应用于某高精度精密离心机主轴回转误差精密测试中，实测表明，电容测微仪，转速在300 rpm内精密离心机纯回转误差测量结果为0.25 μm，山东电容测微仪，满足10-6量级高精度精密离心机的研制指标需求。

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