精密离心机主轴回转误差直接影响精密离心机动态半径的测量、离心加速度输出精度以及精密离心机主轴运行安全性，必须精准测量主轴回转误差参数；介绍一种应用3个电容测微仪测试并分离主轴回转误差与圆度误差的方法，利用matlab对三只电容测微仪安装角度误差、主轴全周采样点数、测试系统本底噪声对主轴回转误差测试结果影响进行分析，广东电容测微仪，得出采样点数n、测微仪安装角度误差δα、δβ以及测试系统本底噪声对回转误差分离的影响，新疆电容测微仪，基于结果确定了10-6量级精密离心机主轴回转误差测量的几个工程参数。该方法已应用于某高精度精密离心机主轴回转误差精密测试中，实测表明，转速在300 rpm内精密离心机纯回转误差测量结果为0.25 μm，满足10-6量级高精度精密离心机的研制指标需求。

从加工方法的机理、特点和传统来分类，精密和超精密加工又可分为传统加工、非传统加工和复合加工。传统加工是指刀具切削加工、固结磨料和游离磨料的磨削加工；非传统加工是指利用电能、磁能、声能、光能、化学能和核能等对材料进行加工和处理；复合加工是采用多种加工方法的复合作用，进行优势互补，相辅相成。当前，在制造业中，甘肃电容测微仪，占主要地位的仍是传统加工方法。 ?在加工精度的量级上，精密加工是指加工精度为1～0.1?μm，表面粗糙度为0.1～0.025μm的加工技术，超精密加工是指加工精度高于0.1?μm，表面粗糙度小于0.025?μm的加工技术。目前超精密加工已进入纳米级精度阶段，故出现了纳米加工及其相应的技术。

超精密测量用电容测微仪

电容测微仪的特点是非接触测量，精度高、价格低。但测量范围有限，电容测微仪，测量稳定性和漂移常令人不满意。美国lion precision公司的电容测微仪分辨率可达0.5?mm(1?hz频响)， 热漂移每度0.04%满量程。

精密和超精密加工技术是现代机械制造业主要的发展方向之一，在提高机电产品的性能、质量和发展高新技术中起着至关重要的作用，并且已成为在国际竞争中取得成功的关键技术。我国的制造业发展已进入了高速发展阶段，设备的引进和大量专业人才的涌入使许多沿海地区的制造业水平迅速提高。随着国家决策的科学化、民主化进程不断深入，相信我国的制造业会更快速、更健康地发展。

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