随着科学技术的发展,工业生产需要人们对微位移测量的精度和定位的精度提出更高的要求。在众多的测量仪器当中,非接触式测量仪器由于其自身的优点,成为微位移测量领域的主流研究方向之一。而电容测微技术作为非接触式测量微位移的重要手段,具有温度稳定性好、测量范围大、测量精度高、动态响应好、结构简单、稳定可靠、使用方便,并可实现无接触式测量等一系列优点,特别适宜动态、在线检测,并能在特殊环境下工作特别是随着集成电路技术和计算机技术的发展,促使电容传感器扬长避短,使电容传感器成为一种很有发展前途的传感器,近年来得到了大范围的研究和推广,广泛应用于航天航空技术、精密机械加工以及其他工业测控领域中,主要用来测量各种介质的薄膜厚度、金属微变、微小相对位移、微小孔径及各种截面的形状误差等。尤其能在强光照射、核辐射条件、过载冲击震动等恶劣环境下工作。
制造业是国民经济的支柱产业,随着制造业的快速发展,尤其是制造技术的出现,电容测微仪,新工艺、新加工方法不断涌现。精密加工和超精密加工是制造技术的重要支柱,也是提高制造技术水平的关键。当前,在制造自动化领域,天津电容测微仪,进行了大量有关计算机辅助技术软件cad、capp、cam的开发,计算机集成制造技术cim、生产模式(如精良生产、敏捷制造、虚拟制造等),以及清洁生产和绿色制造等研究,代表了当前制造技术的一个重要方面。但这绝非高新制造技术的全部,作为制造技术的主战场,仍然要靠精密加工和超精密加工技术。
电容式非接触式测微仪,通过电容测头可以测量0-200μm范围内的微小位移,北京电容测微仪,测量精度为纳米级。测微仪由机箱与传感模块组成,可组成多测量通道数。
模块化设计、自由组拼、高分辨率、模拟输出、非接触式测量。
它基于一个理想的平行板电容器原理,传感器与相对面被测目标形成的两个电极,采用保护环电容器原理,用于测量任何金属时,传感器仍是线性的。
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