在工业计量中有很多需要检测的参数与位移量的变化有关,如力、流量、温度、速度、振动、密度、粘度等。所以位移的测量在工业甚至其他一些领域显得尤为重要,而电容测微仪作为一种非接触式的,能够精准测量微小相对位移、微振动和微小尺寸的仪器,具有温度稳定性好、测量范围大、测量精度高、动态响应好、结构简单等一系列优点,它的相对变化量大,电容测微仪,能在特殊环境下工作,广东电容测微仪,如在强光照射下、在核辐射条件、过载冲击震动环境等。所以在航空、航天、工业生产加工、超精密测量等领域中具有广泛应用。
精密离心机主轴回转误差直接影响精密离心机动态半径的测量、离心加速度输出精度以及精密离心机主轴运行安全性,必须精准测量主轴回转误差参数;介绍一种应用3个电容测微仪测试并分离主轴回转误差与圆度误差的方法,利用matlab对三只电容测微仪安装角度误差、主轴全周采样点数、测试系统本底噪声对主轴回转误差测试结果影响进行分析,吉林电容测微仪,得出采样点数n、测微仪安装角度误差δα、δβ以及测试系统本底噪声对回转误差分离的影响,基于结果确定了10-6量级精密离心机主轴回转误差测量的几个工程参数。该方法已应用于某高精度精密离心机主轴回转误差精密测试中,实测表明,转速在300 rpm内精密离心机纯回转误差测量结果为0.25 μm,满足10-6量级高精度精密离心机的研制指标需求。
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