根据加工方法的机理和特点，精密和超精密加工方法，可以分为去除加工、结合加工和变形加工三大类。

（1）去除加工。又称为分离加工，是从工件上去除一部分材料，传统的机械加工方法，如车削、铣削、磨削、研磨和抛光等，天津电容测微仪，以及特种加工中的电火花加工、电解加工等，重庆电容测微仪，均属这种加工方法。

（2）结合加工。利用物理和化学方法，将不同材料结合(bonding)在一起。按结合的机理、方法、强弱等，它又分为附着、注入(injection)和连接(jointed)三种。

（3）变形加工。又称为流动加工，利用力、热、分子运动等手段，使工件产生变形，江苏电容测微仪，改变其尺寸、形状和性能。

随着科学技术的发展，工业生产需要人们对微位移测量的精度和定位的精度提出更高的要求。在众多的测量仪器当中，电容测微仪，非接触式测量仪器由于其自身的优点，成为微位移测量领域的主流研究方向之一。而电容测微技术作为非接触式测量微位移的重要手段，具有温度稳定性好、测量范围大、测量精度高、动态响应好、结构简单、稳定可靠、使用方便，并可实现无接触式测量等一系列优点，特别适宜动态、在线检测，并能在特殊环境下工作特别是随着集成电路技术和计算机技术的发展，促使电容传感器扬长避短，使电容传感器成为一种很有发展前途的传感器，近年来得到了大范围的研究和推广，广泛应用于航天航空技术、精密机械加工以及其他工业测控领域中，主要用来测量各种介质的薄膜厚度、金属微变、微小相对位移、微小孔径及各种截面的形状误差等。尤其能在强光照射、核辐射条件、过载冲击震动等恶劣环境下工作。

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